XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光柵尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍鏡頭)
英制單位 公制單位
測(cè)量范圍 12" X6"X6" 300X150x150毫米
尺寸 28.3" X30.5"X38.3" 720X775X873毫米
負(fù)載 25kg
臺(tái)面分辨率 0.5um
光學(xué) 雙重放大 (物鏡)
低倍 0.8 1.0 2.5 5.0 10.0 25.0
高倍 3.2 4.0 10.0 20.0 40.0 100.0
標(biāo)配鏡頭 1X
可選鏡頭 0.8X,2.5X,5X
照明 LED 背光,LED 同軸面光
可選特征 多色可編程環(huán)形光 (PRL)
Ronchi 柵格自動(dòng)ju jiao
TTL 激光
旋轉(zhuǎn)分度工作臺(tái)
