BenchMark 450 主要技術(shù)參數(shù)
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 帶TTL激光和可選5倍鏡頭）
測(cè)量范圍
18" X18"X6"
450X450x150毫米
尺寸
48" X45"X67"
1210X1140X1700毫米
負(fù)載能力
65千克
臺(tái)面分辨率
0.5微米
光學(xué)
雙重放大 (物鏡 X)
低
0.8
1.0
2.5
5.0
10.0
25.0
高
3.2
4.0
10.0
20.0
40.0
100.0
標(biāo)配物鏡
1X
可選物鏡
0.8X,2.5X,5X
照明
LED 背光,LED 同軸面光
可選特征
多色可編程環(huán)形燈 (PRL)
Ronchi 柵格自動(dòng)ju jiao
TTL 激光
旋轉(zhuǎn)分度工作臺(tái)
